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离子注入石墨件
产品名称:

离子注入石墨件

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产品简介:离子注入石墨件是半导体器件加工生产时用到的一种产品,通过离子注入的方式向半导体中注入杂质元素,以此来提高半导体的性能。

  离子注入石墨件是半导体器件加工生产时用到的一种产品,离子注入石墨件通过离子注入的方式向半导体中注入杂质元素,以此来提高半导体的性能。

  

  由于离子注入石墨件注入机所使用的石墨部件材料都具备耐热与导热能力,所以在注入的过程中,离子注入石墨件需要采用大量石墨改变离子的方向与形状,例如,轨道管壁、以及设置于所述轨道管壁内部的离子源控制电极和离子源终止器等都需要使用石墨材料,业界也将这些使用石墨材料的部件称为石墨件。

  

  在一些大型注入中,所需要大量的离子由负压打入石墨表面,所以在生产离子注入石墨件中需要设备连续几天进行作业,需要使用高纯度的石墨,才能够满足加工要求,石墨的导电与导热能力就得到了发挥,这就是离子注入需要使用石墨材料的原因。

来源:/product185773.html
发布时间:2019/5/11 18:02:39
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